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    18BF-4M9L精密雙面平面研磨機/ 18BF-4M9P精密雙面平面拋光機

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    產品名稱

    18BF-4M9L精密雙面平面研磨機/ 18BF-4M9P精密雙面平面拋光機

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    產品描述
    一、主要用途
    主要用于藍寶石、藍玻璃、陶瓷片、晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢。
     
    二、產品特點
    1、壓力精密控制:PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現高精度壓力閉環控制;
    2、上盤減震裝置:動靜態均適用的減震彈性連接方式;
    3、下盤支撐:高精度平面流體軸承支撐;
    4、銷齒傳動:內外齒采用銷齒傳動,延長載體使用壽命,維護便捷;
    5、上、下盤水冷系統:上、下盤采用水冷結構,進行溫度控制實現大壓力加工;
    6、上盤壓力:最大1000kg;
    7、傳動系統:四電機同步拖動,上下盤、內齒、外齒、(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設定,縣有配方功能。
     
    三、技術參數
     
    序號 項目 規格參數
    1 下盤 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
    Φ12660mm×Φ700mm×90mm(拋光)
    轉速 5-70 rpm
    驅動電機 15kW AC380V 50Hz 1460rpm
    2 上盤 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
    Φ1260mm×Φ700mm×90mm(拋光)
    轉速 3-40 rpm
    驅動電機 11kW AC380V 50Hz 1460rpm
    3 游星輪 參數 節距:15.7 Z=64
    數量 9個
    4 太陽輪 轉速 3-35 rpm
    驅動電機 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm
    5 齒圈 轉速 3-35 rpm
    驅動電機 4kW AC380V 50Hz 1400rpm
    升降電機 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm
    升降行程 30mm
    6 精度指標 上、下盤平面度 ≤0.02mm
    下盤端跳 ≤0.03mm
    7 加工范圍 最大加工尺寸 Φ280mm
    最小加工厚度 0.20mm(≤2"片)
    整盤承載量 18×9=162片(2" 圓片)
    8 水源   純水或自來水
    9 電源 功率 34kW AC380V 50Hz
    線纜規格 三相五線刮.3×10mm2+2×6mm2
    10 氣源 壓力 壓縮空氣源0.5-0.6Mpa
    接管口徑 接口Φ10mm(外徑)
    11 外形尺寸   長×寬×高:2100mm×1600mm×3013mm(含地腳80)
    12 重量   約7500Kg

     

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